仪器设备
机时预约
送样预约1.chuck尺寸：6英寸、4英寸、3英寸、2英寸
2.曝光模式：真空接触、硬接触、软接触、接近式曝光四种模式。
3.光强大小：365nm，64.36mW/cm²；405nm，153.3mW/cm²，光强均匀性优于±2.5%
1.光刻分辨率：
真空接触：0.8μm
硬接触：1.5μm
软接触：2.5μm
接近式：3.0μm
2.对准精度：
正面套刻精度可达±0.5μm
背面套刻精度可达±1.0μm
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